氣體質量流量計是基于熱擴散原理而設計的流量儀表.即利用流體流過發熱物體時,發熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關系.該系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD,一只用來做熱源,一只用來測量流體溫度,當流體流動時,兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關系,再通過微電子控制技術,將這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出。

　　氣體質量流量計產品特點：

　　1.傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了流量計的高精度計量

　　2.靈敏度高，能夠對極小的始動流量就可以開始計量

　　3.在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了80:1甚至更高

　　4.全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性

　　5.支持多種氣體的測量，允許客戶對某些特殊氣體進行現場標定

　　氣體質量流量計同時實現熱源的產生與溫度的測量。當芯片處于工作狀態時，在傳感器的周邊形成穩定的溫度場分布。一旦一定質量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，形成特定的、取決于該氣體的質量和速度的溫度場分布。微機電系統流量計芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進行放大、調理并作線性化處理。由于不同質量的氣體對傳感器的周邊形成穩定的溫度場分布所產生的擾動不同，因而能測量氣體的質量流量或總流量。